ครูบาเถิ้ม (ขวา) เจ้าอาวาสองค์แรก,พระราชรัตนากร (ซ้าย) เจ้าอาวาสรูปที่ ๖

รายนามเจ้าอาวาสวัดพระธาตุดอยสุเทพ
        นับเป็นเวลาหกร้อยกว่าปีมาแล้วที่พระเจ้ากือนาได้ทรงสร้างวัดพระธาตุดอยสุเทพราชวรวิหาร มาเมื่อปี พ.ศ.1916 พระธาตุดอยสุเทพได้ชำรุดและซ่อมแซมมาหลายครั้งแล้ว เจ้าผู้ปกครองนครเชียงใหม่ ในราชวงศ์เม็งรายทุกพระองค์ต่างก็ให้ความสนใจและเอาใจใส่ต่อการทำนุบำรุงพระธาตุดอยสุเทพด้วยดีมาตลอดหลังจากการเปลี่ยนแปลงการปกครองจากสมบูรณาญาสิทธิราชมาเป็นระบอบประชาธิปไตย เมื่อปี พ.ศ.2475 เจ้าแก้วนวรัฐ จึงได้มอบสิทธิอำนาจต่าง ๆ ให้แก่ทางคณะสงฆ์ปกครองดูแลพระธาตุดอยสุเทพโดยตนเองในชั้นแรกได้ไปนิมนต์ครูบาเถิ้ม วัดแสนฝาง มาเป็นเจ้าอาวาสวัดพระธาตุดอยสุเทพ องค์แรกเพื่อดูแลและรักษาพระเจดีย์แทนพระองค์จากนั้นก็มีการเปลี่ยนเจ้าอาวาสมาตลอดรวม 7 รูปแล้วดังนี้
     1. ครูบาเถิ้ม จากวัดแสนฝาง
     2. ครูบาปัญญา จากวัดสันป่าขุย อำเภอสันกำแพง
     3. พระครูอนุสรณ์ จากวัดหมื่นล้าน
     4. พระปลัดคำใส จากวัดดอยสุเทพราชวรวิหาร
     5. พระครูญาณลังกา จากวัดทุงยู
     6. พระครูสุวรรณธรรมธาดา จากวัดเมืองมาง
     7. พระเทพวรสิทธาจารย์ วัดดอยสุเทพราชวรวิหาร (รูปปัจจุบัน)

พระเทพวรสิทธาจารย์  เจ้าอาวาสรูปปัจจุบัน

หมายเหตุ
เจ้าอาวาสองค์ที่ 5 ล่าสุดได้เลื่อนสมณศักดิ์ เป็น พระเทพวิสุทธาจารย์
เจ้าอาวาสองค์ที่ 6 ล่าสุดได้เลื่อนสมณศักดิ์ เป็น พระราชรัตนากร